본 발명은 우수한 식각 내성 및 기계적 강도 특성을 갖고, 포토레지스트로 활용 시 우수한 선단 거칠기의 포토레지스트 특성을 제공할 수 유무기 하이브리드 나노입자에 관한 것으로, 상세하게 유무기 하이브리드 나노입자는 입자상의 금속산화물; 금속산화물에 포함되는 금속과 배위결합 또는 공유결합하여 위치하는 표면 안정자(surface stabilizer); 및 금속산화물에 결합된 네트워크 형성자;를 포함한다.