본 발명은 그래핀과 부도체 나노 물질을 이용하여 신개념 원자외선 발생 전극 및 신개념 원자외선 발생 장치를 제작하는 방법과 그 동작 원리에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 전자를 투과하는 그래핀 나노 물질과, 전자빔 충돌로 원자외선 발생이 가능한 박막 형태의 특정 부도체 물질(질화 붕소, 운모, 이산화규소)을 함께 석영 기판위에 결합하여 신개념 원자외선 전극을 만들고, 이를 세라믹을 이용해 전자빔 소스와 결합시킨 다음, 글래스 또는 세라믹 튜브 안에 진공 실장하여 신개념 원자외선 모듈을 제작하는 방법, 그리고 원자외선 모듈, 전압 인가 장치, 변압기, 전류 측정 장치, 디스플레이 모듈, 컨트롤 모듈을 패키징하여 신개념 원자외선 발생 장치를 제작하는 방법에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 다음과 같은 특징을 갖는다. 첫째, 신개념 원자외선 발생 전극을 제작하는 방법에 있어, 열 CVD 방법으로 그래핀을 합성하는 단계, PMMA 용액을 그래핀 위에 코팅하는 단계, 구리를 식각하는 단계, 그래핀을 특정 부도체 물질에 전사하는 단계, 그래핀과 특정 부도체 물질을 석영 기판과 결합하는 단계, 금속 선을 도포하는 단계를 포함하는 것에 특징이 있다. 둘째, 특정 부도체 물질을 사용함에 있어, 특정 부도체 물질의 종류, 두께(수 nm ~ 수백 nm), 그리고 결정성을 정밀하게 조절 및 선택하여 발생하는 ...(이하생략)