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특허 리스트

수직형 발광 다이오드 및 그 제조방법

구분 특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2006-08-22
취득구분 등록
기술분류
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-0617873
출원(등록)번호 10-2005-0064339
출원형태
발명자수 1
DOI 값
주요내용
특허 이미지

본 발명은 수직형 발광 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 기판 상에 상호 이격되어 형성된 발광 구조물 사이의 영역에 경도를 가지고 있는 SOG(Spin On Glass)를 형성한 후, 상기 SOG 상부에 도전성 지지막을 형성하고, 상기 SOG가 형성된 부분을 스크라이빙하여 별개의 발광 다이오드로 분리하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 기판 상에 상호 이격되어 형성된 발광 구조물을 감싸며 SOG(Spin On Glass)를 형성한 후, 상기 SOG 상부에 도전성 지지막을 형성함으로써, 도전성 지지막이 가지는 열적, 전기적 전도성은 그대로 유지하게 되고, 레이저 리프트 오프 공정 이후의 공정에서 핸들링시 쉽게 휘어지지 아니하여 연마 공정 및 전극 형성 등의 공정을 용이하게 진행할 수 있게 된다. 또한, 상기 SOG(Spin On Glass)가 형성된 부분을 스크라이빙함으로써, 스크라이빙시 크랙(crack)이 형성되어 소성 변형 없이 복수개의 발광 구조물을 별개의 발광 다이오드로 분리할 수 있게 된다. 레이저 리프트 오프, 도전성 지지막, SOG, UBM

발명자 정보

이름 소속
하준석 전남대학교 화학공학부