본 발명은 질화갈륨계 발광 소자의 제조 방법에 관한 것으로, 사파이어 기판 상부에 유전체막 패턴을 형성하고, 유전체막 패턴 상부에서 소자를 성장시켜 막질을 우수히 할 수 있고, 유전체막 패턴을 제거한 후, 자외선 조사 및 습식 식각공정을 동시에 수행하여 유전체막 패턴이 형성되지 않은 사파이어 기판과 질화갈륨층의 계면만 분리시키는 것이므로, 종래 기술보다 사파이어 기판을 질화갈륨층에서 보다 쉽게 이탈시킬 수 있는 우수한 효과가 있다. 유전체, 패턴, 질화갈륨, 사파이어, 기판