본 발명의 일실시예는 전자 소자용 박막을 제공한다. 기판; 상기 기판 상에 위치하는 버퍼층; 상기 버퍼층 상에 위치하는 탄소나노튜브-금속촉매 복합체층; 및 상기 탄소나노튜브- 금속촉매 복합체층 상에 위치하는 금속산화물 에피택셜층; 을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 실시예에 따른 전자 소자용 박막은, 기판과 금속산화물 에피택셜 구조체 사이의 격자상수 차이로 인해 종래 내부적으로 발생하였던 관통 전위와 스트레인이 감소되어, 격자상수 차이에 거의 영향을 받지 않아 결함에 자유로울 수 있다.