본 발명은 기상 증착법을 이용한 황화주석 박막 및 나노 입자와 이의 형성방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 파우더 형태의 황화주석 전구체를 준비하는 단계; 상기 황화주석 전구체를 기상 증착을 위한 챔버 내부에서 열처리하여 증발시키는 단계; 증발된 상기 황화주석 전구체를 준비된 기판상에 증착하는 단계; 및 상기 황화주석 전구체가 증착된 기판을 상온까지 공랭하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.