형광표시관(VFD), 전계 방출 디스플레이(FED), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 음극선관(CRT), 발광 다이오드(LED) 등에 사용할 수 있는, 보다 고휘도의 규질화물 형광체용 질화규소 분말 그리고 그것을 이용한 CaAlSiN 3 계 형광체, Sr 2 Si 5 N 8 계 형광체, (Sr, Ca)AlSiN 3 계 형광체 및 La 3 Si 6 N 11 계 형광체, 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명은, 규소원소와 질소원소를 함유하고, 산소원소를 구성 원소로 하지 않는 규질화물 형광체를 제조하기 위한 원료로서 사용하는 결정질 질화규소 분말이며, 산소 함유량이 0.2 내지 0.9중량%인 것을 특징으로 하는 규질화물 형광체용 질화규소 분말 그리고 그것을 이용한 CaAlSiN 3 계 형광체, Sr 2 Si 5 N 8 계 형광체, (Sr, Ca)AlSiN 3 계 형광체 및 La 3 Si 6 N 11 계 형광체, 및 그 제조 방법에 관한 것이다.