본 발명은 A 5 B 4 O 15 (A=Sr 또는 Ba; B=Ta 또는 Nb)를 출발물질로 하여, 화합물의 결정구조가 열적 변환되는 온도로 질화처리 후 화합물의 결정구조의 열적 안정성이 유지되는 온도로 열처리하여 표면 결정성이 향상된 페로브스카이트 금속 산질화물 제조방법에 관한 것이다. 제조된 페로브스카이트 금속 산질화물은 태양광 물 분해 전지 및 패널 디바이스에 적용할 수 있는 반도체 재료로 사용될 수 있다.