본 발명은 영역 그래프 및 인공신경망을 이용하여 소자 시뮬레이션을 가속화시킨 반도체 소자 시뮬레이션 시스템 및 방법에 관한 것이다. 반도체 소자 시뮬레이션 시스템은, 시뮬레이션하고자 하는 반도체 소자의 소자 구조 파일을 이용하여 영역 그래프를 생성하는 영역 그래프 생성 모듈; 그래프 인공신경망을 이용하여 상기 영역 그래프 생성 모듈에 의해 생성된 영역 그래프에 대한 반도체 소자 종류를 판별하는 소자 판별 모듈; 컴팩트 모델을 이용하여 상기 소자 판별 모듈에 의해 판별된 반도체 소자 종류에 대응되는 소자 구조에 대한 초기해를 생성하는 초기해 생성 모듈; 상기 초기해 생성 모듈에 의해 생성된 초기해를 이용하여 시뮬레이션을 수행하는 반도체 소자 시뮬레이터; 및 영역 그래프와 이에 대응하는 반도체 소자 종류의 쌍으로 이루어진 학습 데이터를 이용하여 그래프 인공신경망을 지도 학습하여 모델링하는 그래프 인공신경망 학습 모듈;을 구비하여, 반도체 소자 시뮬레이션을 가속화시키는 것을 특징으로 한다.