본 발명은 검사평면 상에서 재물대를 이동시킬 수 있도록 구비된 베이스구동모듈; 상기 재물대 상에 위치한 검사 대상 샘플을 관찰할 수 있도록 설치된 현미경카메라; 상기 현미경카메라를 상기 샘플에 대하여 이동시켜 초점을 조절할 수 있도록 구비된 현미경카메라구동모듈; 상기 샘플의 검사를 수행할 검사툴을 구비한 검사장치를 3차원 상으로 이동시킬 수 있도록 구비된 검사장치구동모듈; 상기 현미경카메라에서 촬영된 영상 속의 샘플의 위치 정보를 기반으로 상기 베이스구동모듈과 검사장치구동모듈을 구동하여, 상기 검사툴을 상기 샘플에 접촉시키고, 상기 검사툴과 샘플의 접촉이 확인되면, 상기 검사장치를 작동시키도록 구성된 제어부를 포함하여 구성된다.