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특허 리스트

강유전성 및 자성 특성을 갖는 복합 박막 구조체, 및 이를 포함하는 멤커패시터, 및 그 제조 방법

구분 특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2022-07-01
취득구분 등록
기술분류 기타
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-2020-0165822
출원(등록)번호 10-2020-0165822
출원형태
발명자수 2
DOI 값
주요내용
특허 이미지

강유전성 및 자성 특성을 갖는 복합 박막 구조체의 제조 방법이 제공된다. 상기 강유전성 및 자성 특성을 갖는 복합 박막 구조체의 제조 방법은, 챔버 내에, 타겟 물질 및 기판을 준비하는 단계, 및 상기 타겟 물질에 레이저를 조사하여, 상기 기판 상에, 강유전성 및 자성을 갖는 복합 박막 구조체를 형성하는 단계를 포함하되, 상기 타겟 물질은, 베이스 산화물에 제1 도핑 원소 및 제2 도핑 원소가 도핑된 페로브스카이트 구조를 갖고, 상기 타겟 물질 내의 상기 제1 도핑 원소 및 상기 제2 도핑 원소의 비율에 따라서, 상기 복합 박막 구조체의 강유전성 및 자성이 제어되는 것을 포함할 수 있다.

발명자 정보

이름 소속
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