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바륨이 도핑된 BiFeO3를 포함하는 다중 정전용량 멤커패시터 소자 및 그 제조 방법
구분
특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2025-04-23
취득구분 등록
기술분류 전기/전자
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-2023-0126467
출원(등록)번호 10-2023-0126467
출원형태
발명자수 1
DOI 값
주요내용
멤커패시터 소자가 제공된다. 상기 멤커패시터 소자는, 스트론튬 티탄산염(SrTiO 3 )을 포함하는 기판, 상기 기판 상에 배치되고, 스트론튬 루테늄 산화물(SrRuO 3 )을 포함하는 제1 전극, 상기 제1 전극 상에 배치되고, 바륨(Ba)이 도핑된 비스무스 페라이트(BiFeO 3 )를 포함하는 강유전층, 상기 강유전층 상에 배치되는 제2 전극, 및 상기 제2 전극과 연결되는 와이어를 포함하되, 상기 강유전층은 바륨(Ba)이 도핑되지 않은 비스무스 페라이트(BiFeO 3 )를 포함하는 강유전층과 비교하여 산소 공공(oxygen vacancy)의 비율이 높은 것을 포함할 수 있다.
발명자 정보
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