전극의 표면처리를 위한 레이저 가공장치를 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, 리튬이온이 삽입된 실리콘 전극의 표면처리를 위한 레이저 가공장치에 있어서, 레이저 광을 조사하는 광원과 상기 광원에서 조사된 레이저 광을 상기 광원에서 조사된 레이저 광을 리튬이온이 삽입된 실리콘 전극의 표면으로 전달하는 광학계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치를 제공한다.