본 발명은 시간-도메인 반사 측정 신호의 주파수 특성 분석 방법과 장치 및 이를 구현하는 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 본 발명의 일 실시예에 의한 시간-도메인 반사 측정 장치는 반도체 장치의 테스트 패턴에 전기적으로 연결되며 신호를 전달한 후 그의 반사된 전압값을 이용하여 정전 용량 및 임피던스를 산출하여 캐패시턴스-주파수 커브 및 임피던스-주파수 커브를 출력한다.