본 발명은 x축 및 이와 수직인 y축을 중심으로 미러가 회동할 수 있는 MEMS 미러 스캐너 구동 방법에 관한 것으로서, MEMS 미러 스캐너의 전달함수(T(f))를 구하는 단계; MEMS 미러 스캐너의 미러 구동을 위한 목표 시계열 출력 신호(d(t))를 설정하는 단계; 상기 목표 시계열 출력 신호(d(t))를 푸리에 목표 주파수 영역의 출력 신호(D(f))로 변환하는 단계; 상기 목표 주파수 영역 출력 신호(D(f))와 상기 MEMS 미러 스캐너의 전달함수(T(f))로부터 주파수 영역의 입력 신호(V(f))를 구하는 단계; 상기 주파수 영역의 입력 신호(V(f))를 시계열 입력 신호(v(t))로 변환하는 단계; 및 상기 시계열 입력 신호(v(t))를 구동 전압으로서 MEMS 미러 스캐너에 인가하는 단계를 포함한다.