본 발명의 실시예는 재료표면 분석용 파장분해 현미경에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 재료표면 분석용 파장분해 현미경은 소정의 광을 발산하는 광원과, 소정의 투과 홀을 구비하여 상기 광을 투과시켜 소정의 샘플에 조사시키며, 상기 샘플에서 반사나 산란되는 광을 반사시키는 반사경과, 상기 반사된 광을 파장 분해하는 회절격자와, 상기 파장 분해된 광의 이미지를 결상하는 카메라 및 상기 회절격자와 상기 샘플 사이에 배치되는 슬릿부를 포함할 수 있다.