IGZO를 포함하는 금속 산화물층 상에 Pd 나노 입자가 코팅된 구조에 의해, 낮은 수소 가스 농도에서도 검출 민감도가 우수한 수소 가스 센서 및 그 제조 방법에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 수소 가스 센서는 기판; 상기 기판 상에 배치되는 금속 산화물층; 상기 금속 산화물층 상에 배치되는 수소 흡착층; 및 상기 금속 산화물층의 양단과 접촉하는 제1전극 및 제2전극;을 포함하고, 상기 수소 흡착층은 Pd를 포함하고, 금속 산화물층은 IGZO를 포함하는 것을 특징으로 한다.