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가시광과 근적외광의 동시 감지가 가능한 단일 칩 이미지 센서 제조방법
구분
특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2020-03-03
취득구분 등록
기술분류 물리학
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-2017-0182458
출원(등록)번호 10-2017-0182458
출원형태
발명자수 1
DOI 값
주요내용
본 발명은 하나의 이미지 센서에서 가시광과 근적외광을 동시에 감지하여 주간 및 야간에도 주변 사물을 높은 감도로 인식할 수 있도록 하는 가시광과 근적외광의 동시 감지가 가능한 단일 칩 이미지 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 가시광과 근적외광의 동시 감지가 가능한 단일 칩 이미지 센서는 CMOS 이미지 센서(CIS)에 있어서, 실리콘(Si) 기판(100)에 가시광 수광부(112)와 NIR 수광부(113)를 포함하는 수광부(110)와 로직 및 신호처리부가 형성되고, 상기 실리콘 기판(100) 상부에 적외선 차단 필터(IR cut filter)(130)와 가시광 차단 필터(visible-ray cut filter)(135)가 나란히 배치되며, 상기 적외선 차단 필터(130) 및 가시광 차단 필터(135)의 상부에 컬러 필터(Color filter)(140)가 배치되고, 상기 컬러 필터(140) 상부에 평탄화층(150)이 형성되어, 평탄화층(150) 상부에 마이크로렌즈 어레이(170)가 배치되어 이루어져, 단일 칩 상에 이미지 센서와 근적외광 이미지 센서를 집적할 수 있으므로 제조 원가를 절감하고 컴팩트한 장치 구성이 가능하다.
발명자 정보
| 이름 | 소속 | |
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