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전사공정 없이 직접 기판 위에 그래핀을 제조하는 방법

구분 특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2020-01-22
취득구분 등록
기술분류 화학공정
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-2018-0069031
출원(등록)번호 10-2018-0069031
출원형태
발명자수 1
DOI 값
주요내용
특허 이미지

본 발명의 일실시예는 그래핀 제조방법에 관한 것이다. 더욱 자세하게는, 기판 상에 촉매층을 형성하는 단계, 화학기상증착법을 사용하여 상기 촉매층 상에 탄소화합물을 주입하는 동시에 상기 촉매층 상 및 상기 촉매층과 상기 기판 사이에 그래핀층을 형성하는 단계 및 상기 촉매층을 상기 기판 상에서 제거하는 단계를 포함하고, 상기 그래핀층을 형성하는 단계의 온도는 150℃ 내지 450℃인 것을 특징으로 하여 기판 상에 전사공정 없이 저온에서 합성하는 공정을 제공한다.

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