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길이조절이 가능한 가스 타겟 및 이를 포함하는 레이저-기체 반응 시스템
구분
특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2019-10-07
취득구분 등록
기술분류 물리학
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-2016-0181599
출원(등록)번호 10-2016-0181599
출원형태
발명자수 2
DOI 값
주요내용
가스 타겟의 일단부에 슬라이딩 이동가능한 삽입부가 밀도분포형성부 내부에 배치되어 가스 밀도단면이 균일하게 유지되는 동시에 가스 밀도단면으로 나타내어지는 가스 타겟의 유효 길이를 용이하게 조절할 수 있는, 길이조절이 가능한 가스 타겟에 관한 것으로, 길이가 조절가능한 공간인 밀도분포형성부를 포함하며, 밀도분포형성부의 길이에 따라 밀도분포형성부 내에 수용되는 가스의 밀도단면의 길이가 조절되는 것을 특징으로 하는 가스 타겟이 제공된다.
발명자 정보
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