본 발명은 멤스 구동 장치에 대한 것이다. 본 발명은, 적어도 하나의 연결 링크가 돌출되어 구비된 피구동부의 상기 연결 링크에 연결되어 상기 피구동부를 구동하는 구동부를 포함하고, 상기 구동부는, 상기 연결 링크의 일측에 상기 연결 링크의 돌출방향을 가로지르도록 연결되는 구동암, 및 상기 구동암을 구동하는 액추에이터를 포함하고, 상기 연결 링크와 상기 피구동부의 사이 또는 상기 연결 링크와 상기 구동암 사이에는 완충 스프링이 구비되는 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치를 제공한다.