본 발명은 침습형과 비침습형의 두 가지 형태의 전극을 모두 가지는 하이브리드형 미세전극 배열체 및 그것의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 적어도 하나의 침습형 미세전극; 적어도 하나의 비침습형 미세전극; 및 상기 침습형 미세전극 및 상기 비침습형 미세전극을 지지하며, 상기 침습형 미세전극 및 상기 비침습형 미세전극을 전기적으로 절연시키는 절연성 지지체를 포함한다.