제1전극이 구비된 기판을 준비하는 단계; 상기 제1전극 상에 캐소드 계면물질과 광활성 물질의 혼합물을 도포하여 캐소드 계면층과 광활성층의 이중층 또는 복합층을 형성하고, 상기 이중층 또는 복합층 상에 애노드 계면층을 형성하는 단계; 및 상기 애노드 계면층 상에 제2전극을 형성하는 단계를 포함하는, 역구조 유기 전자소자의 제조방법이 제공된다. 본 발명에 따르면, 역구조 유기 전자소자의 제작공정을 단순화시킬 수 있으며, 균일하고 핀홀이 없는 박막 형태의 캐소드 계면층을 형성하여 성능이 우수한 전자소자를 제조할 수 있다.