히터를 포함하는 저항 변화 메모리 소자, 이의 동작방법, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 전자제품을 제공한다. 상기 저항 변화 메모리 소자는 기판 상에 일 방향으로 배치된 제1 방향 데이터선을 구비한다. 상기 제1 방향 데이터선 상에 상기 제1 방향 데이터선에 교차하는 제2 방향 데이터선이 배치된다. 상기 한 쌍의 제1 방향 데이터선과 제2 방향 데이터선 사이에 히터가 위치한다. 상기 제1 방향 데이터선의 측벽과 상기 제2 방향 데이터선의 측벽을 노출시키는 콘택홀 내에 도전성 필라가 위치한다. 상기 콘택홀 내에 상기 도전성 필라를 둘러싸는 저항변화물질막이 위치한다. ReRAM, 히터, 동작속도