금속 산화물 전극을 구비하는 저항 변화 메모리 소자 및 이의 동작방법을 제공한다. 상기 소자는 제1 전극 및 제2 전극을 구비한다. 상기 제2 전극은 상기 제1 전극을 마주보며 금속 산화물 전극막을 구비한다. 상기 제1 전극과 상기 금속 산화물 전극막 사이에 산화물 저항 변화막이 위치한다. 이러한 저항 변화 메모리 소자는 금속 산화물 전극을 구비함으로써 산소 이온의 이동을 보다 원활하게 할 수 있다. 따라서, 스위칭 속도가 증가될 수 있다. 또한, 상기 금속 산화물 전극 내에 산소 이온이 유입되는 경우에도 상기 금속 산화물 전극의 저항은 변하지 않을 수 있어, 소자의 내구성이 향상될 수 있다. 저항 변화 메모리 소자, 금속 산화물 전극, 산화물 저항 변화막