기판이 장착되는, 스테이지, 금속 물질로부터 상기 기판이 장착된 상기 스테이지를 향하여 금속 플럭스를 형성하는, 펄스 레이저 증착부, 및 칼코겐 물질로부터 상기 기판이 장착된 상기 스테이지를 향하여 칼코겐 플럭스를 형성하는, 열 증착부를 포함하되, 상기 스테이지, 상기 펄스 레이저 증착부, 및 상기 열 증착부는 단일 챔버 내부에 마련되고, 상기 스테이지에 장착된 기판에는, 상기 금속 플럭스의 금속 원소와 상기 칼코겐 플럭스의 칼코겐 원소가 화합된 금속-칼코겐 화합물 박막이 형성되는 것을 포함하는, 박막 증착 장치가 제공된다.