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이종 접합 구조체 및 이의 제조 방법
구분
특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2024-08-07
취득구분 등록
기술분류 기타
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-2021-0129792
출원(등록)번호 10-2021-0129792
출원형태
발명자수 1
DOI 값
주요내용
본 발명은 이종 접합 구조체 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 기판을 준비하는 단계 및 펄스레이저 증착법으로 상기 기판 상에 전이금속 디칼코게나이드 층을 증착하는 제1 증착 공정 및 펄스레이저 증착법으로 상기 전이금속 디칼코게나이드 층 상에 금속 산화물 층을 증착하는 제2 증창 공정을, 교대로 그리고 반복적으로 수행하여, 이종 접합 구조체를 제조하는 단계를 포함할 수 있다.
발명자 정보
| 이름 | 소속 | |
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