본 발명은 광도파로 소재의 광민감성을 높이고 자외선 레이저광을 이용하여 평판형 광소자를 제작하는 기술에 관한 것이다. 본 발명은 광분배기, 광결합기, WDM 광소자, 광스위치 등 평판형 광도파로 수동소자 및 광증폭기와 같은 능동소자를 제작하는데 있어 종래의 도파로 제작방법인 증착 및 식각 공정을 대폭 줄일 수 있고, 공정중의 이물질 인입과 결정상 형성되는 등의 문제점을 해결할 수 있으며 상부 클래드층을 열처리한 후 도파로 형성에 따른 코어 영역의 확산 및 코어의 굴절률 변화 등의 문제점을 해결할 수 있다. 결과적으로, 광도파로 제작 공정수를 줄이고 재현성을 향상시켜 광도파로의 전송효율과 특성을 효과적으로 개선할 수 있다. 평판형 광도파로, 광소자, 광통신, 게르마늄, 자외선 레이저