광 위상 배열 칩 및 그 제조 방법 개시된다. 일 실시예에 따르면, 광 위상 배열 칩은, 상기 광 위상 배열 칩은, 단일 집적 회로-상기 단일 집적 회로는, 실리콘 기판; 상기 실리콘 기판의 상부에 형성되는 하부층; 상기 하부층의 상부에 형성되는 실리콘층; 상기 실리콘층의 상부에 순차적으로 배치되는 제1 상부층, 제2 상부층 및 제3 상부층; 상기 실리콘층에 접지된 채 상기 제1 상부층을 관통하며 상기 제1 상부층의 상부에 형성되는 전극을 포함함- 상에 구현되는 복수의 광 스위치들 및 복수의 광 위상 배열들을 포함하는 것을 특징으로 한다