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프로젝트 정보
(민간)High-resolution EUV 노광 공정을 위한 포토 레지스트 후보 반응기 개발
사업명 미래소자 원천기술개발사업
과제번호 2022-3698-03
주기관명 한국반도체연구조합
연구시작일
2024-01-01
연구종료일
2025-06-30
프로젝트 참여자 정보
| 이름 | 역할 | 소속 |
|---|---|---|
| 정현담 | 책임연구원 | 전남대학교 화학과 |