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프로젝트 정보
1.0 nm 급 초미세 반도체 용 PECVD 공정 기반 porogen-free ultra low-k(유전율 2.0) 소재
사업명 민관공동투자반도체고급인력양성(R&D)
과제번호 2023-1915-03
주기관명 한국산업기술기획평가원
연구시작일
2025-01-01
연구종료일
2025-12-31
프로젝트 참여자 정보
| 이름 | 역할 | 소속 |
|---|---|---|
| 정현담 | 책임연구원 | 전남대학교 화학과 |