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프로젝트 정보
극자외선 리소그래피 (EUVL)용 레지스트 및 적용공정 개발
사업명 삼성미래기술육성사업
과제번호 2024-2047-01
주기관명 삼성전자 미래기술육성센터
연구시작일
2024-07-01
연구종료일
2026-05-31
프로젝트 참여자 정보
| 이름 | 역할 | 소속 |
|---|---|---|
| 허수미 | 책임연구원 | 전남대학교 고분자융합소재공학부 |