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프로젝트 정보
Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 EUV 검사기 인프라 구축(1단계)
사업명 산업혁신기반구축(R&D)
과제번호 2024-1668-02
주기관명 한국산업기술진흥원
연구시작일
2025-01-01
연구종료일
2025-12-31
프로젝트 참여자 정보
| 이름 | 역할 | 소속 |
|---|---|---|
| 한승회 | 책임연구원 | 전남대학교 기계공학부 |