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2007
AIP 와 스퍼터링으로 복합증착된 420 스테인리스강의 TiN과 CrN 박막에 미치는 중간층의 영향 Effect of Interlayer on TiN and CrN Thin Films of STS 420 Hybrid-Deposited by AIP and DC Magnetron Sputtering
한국재료학회
이광민 외 1명
논문정보
Publisher
한국재료학회지
Issue Date
2007-05-29
Keywords
-
Citation
-
Source
-
Journal Title
-
Volume
17
Number
5
Start Page
256
End Page
262
DOI
ISSN
12250562

저자 정보

이름 소속
이광민 신소재공학부