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2006
자발형성된 양극산화 알루미늄 나노구조를 이용한 나노패턴 SiNx박막 제작
Fabrication of Nano-Patterned SiNx Thin Films with Self-Assembled Anodized Aluminum Nano-Structure
한국물리학회
박준모, 류상완
논문정보
- Publisher
- 새물리
- Issue Date
- 2006-02-01
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 52
- Number
- II
- Start Page
- 232
- End Page
- 236
- DOI
- ISSN
- 03744914
Abstract
알루미늄 양극산화를 통해 형성된 다공성 Anodic Aluminum Oxide (AAO)을
이용하여 대량생산이 가능한 top-down 방식의 나노패턴 제작공정을
연구하였다. 양극산화 공정조건을 조절하여 AAO 막의 두께, 구멍의
크기와 패턴간격을 제어하였고, 그 결과 100-200 nm 주기의 균일한
육방격자구조의 나노패턴을 형성할 수 있었다. 또한 AAO 막을 식각
마스크로 사용하여 GaAs 기판위에 성장된 SiNx 박막에 나노패턴을
제작하였다. 방향성이 우수한 식각특성을 갖는 reactive ion etching을
이용하여 구멍크기의 변화 없이 나노패턴을 전사할 수 있었다.
- 전남대학교
- KCI
- 새물리
저자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 박준모 | 물리학과 |
| 류상완 | 물리학과 |