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2006
AISI 420 stainless steel 기판위에 D.C magnetron sputtering 법으로 제조한 TiN 박막의 특성 평가 Processing and Characterization of RF Magnetron Sputtered TiN Films on AISI 420 Stainless Steel
한국표면공학회
송승우, 김영만
논문정보
Publisher
한국표면공학회지
Issue Date
2006-10-31
Keywords
-
Citation
-
Source
-
Journal Title
-
Volume
39
Number
5
Start Page
199
End Page
205
DOI
ISSN
12258024

저자 정보

이름 소속
송승우 금속공학과
김영만 신소재공학부