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2013
진공조의 잔류산소가 입방정질화붕소 박막 합성에 미치는 영향
Effect of Residual Oxygen in a Vacuum Chamber on the Deposition of Cubic Boron Nitride Thin Film
한국표면공학회
김영만 외 1명
논문정보
- Publisher
- 한국표면공학회지
- Issue Date
- 2013-08-15
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 46
- Number
- 4
- Start Page
- 139
- End Page
- 144
- DOI
- ISSN
- 12258024
- 전남대학교
- KCI
- 한국표면공학회지
저자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 김영만 | 신소재공학부 |