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2005
R.F Sputtering으로 제조한 ZnO박막의 미세구조와 광학적 특성에 미치는 잔류응력의 영향
The Residual Stress Effect on Microstructure and Optical Property of ZnO Films Produced by RF Sputtering
한국표면공학회
류상, 김영만
논문정보
- Publisher
- 한국표면공학회지
- Issue Date
- 2005-08-01
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 38
- Number
- 4
- Start Page
- 144
- End Page
- 149
- DOI
- ISSN
- 12258024
- 전남대학교
- KCI
- 한국표면공학회지
저자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 류상 | 금속공학과 |
| 김영만 | 신소재공학부 |