PLD 법으로 3wt.% Al 이 도핑된 ZnO 타겟을 이용하여 corning 1737 기판위에 200mTorr 의 고정된 산소 분압에서 기판 온도 (100∼250℃) 에 따른 AZO 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성을 조사하였다. 모든 박막들은 c 축 배향되었으며, 오직 (002) 회절 피크만 관찰되었다. 250°C 에서 제작한 AZO 박막에서 가장 우수한 (002) 배향성을 보였으며, 이 때의 반가폭 값은 0.44° 였다. 모든 박막이 가시광 영역에서 85% 이상의 투과율을 보였으며, Burstein-Moss 효과가 관찰되었다. 전기적 특성은 250°C 에서 제작한 박막에서 가장 우수한 캐리어 농도 (3.48×1020cm-3) 와 비저항 (1.65×10-2Ωcm) 값을 나타냈다.