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2015
TeOx(x=1.42)/SiO2로 구성된 광가변적인 1차원 광자결정 연구
A Study on the Photo Reversible One-dimensional Photonic Crystals Composed of TeOx(x=1.42)/SiO2
한국전기전자재료학회
이현용 외 2명
논문정보
- Publisher
- 전기전자재료학회논문지
- Issue Date
- 2015-02-01
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 28
- Number
- 2
- Start Page
- 99
- End Page
- 103
- DOI
- ISSN
- 12267945
Abstract
1차원 광자결정 구조체는 p타입 실리콘과 퀄츠 기판위에 RF 스퍼터링 기법으로 제작되었다. 1차원 광자결정 구조체는 굴절률이 서로 다른 TeOx (x=1.42)와 SiO2로 구성하였다. 1차원 광자결정 내의 결함준위에 대한 영향을 평가하기 위하여, 샘플은 정상모드와 결함모드로 제작하였고, 구조 및 광학 특성평가를 위하여 SEM과 UV-VIS-NIR 측정을 실시하였다. 정상모드의 경우, 근적외선 영역에서 광자밴드갭이 형성되었다. 결함모드의 경우, 삽입된 결함준위로 인하여 첨예한 투과 특성이 나타났으며, 325 nm 파장의 He-Cd 레이져 조사 후에는 투과피크는 장파장으로 이동하였다.
- 전남대학교
- KCI
- 전기전자재료학회논문지
저자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 이현용 | 화학공학부 |