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2017
집적화된 분광모듈 구현을 위한 고분자 기반의 비등간격 평면나노회절격자 제작
Fabrication of a Polymeric Planar Nano-diffraction Grating with Nonuniform Pitch for an Integrated Spectrometer Module
한국광학회
이현용 외 1명
논문정보
- Publisher
- 한국광학회지
- Issue Date
- 2017-04-01
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 28
- Number
- 2
- Start Page
- 53
- End Page
- 58
- DOI
- ISSN
- 12256285
Abstract
본 논문은 집적화된 소형의 분광모듈 구현을 위한 나노회절격자의 설계 및 제작에 관한 연구이다. 제안된 평면 구조의 나노회절격자는 회절격자로부터 반사된 빛을 집광하기 위하여 비등간격의 구조로 설계되었으며, 400 nm에서 650 nm까지의 파장 대역폭에서 균등한 분해능을 가지도록 비대칭 V 홈 구조를 가지도록 설계되었다. 최적 설계된 나노회절격자를 저가, 대량 생산에적합한 UV-NIL 공정을 통해 제작하기 위하여 FT-IR 흡수스펙트럼을 분석하였으며, 이를 통해 5 nm 이내의 치수 정밀도를 가진고분자 나노회절격자를 제작 할 수 있었다. 제작된 고분자 기반 나노회절격자를 이용한 집적형 분광모듈은 250 nm의 파장 대역폭에서 각 첨두파장의 기준으로 5 nm의 균등한 파장 분해능을 확인하였으며, 이는 다양한 분광모듈의 적용분야에 적용될 것으로기대된다.
- 전남대학교
- KCI
- 한국광학회지
저자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 이현용 | 화학공학부 |