1차원 광자결정은 TeO2와 SiO2 타겟을 활용한 스퍼터링 기법으로, 서로 다른 굴절률을 갖는 TeOx(2＜x＜3)/SiO2 박막에 의해 제작되었다. TeOx(2＜x＜3) 박막은 최적의 스퍼터링 가스 조성비(Ar:O2 = 40:10)에 의해 제작되었으며, 10쌍의 TeOx(2＜x＜3)/SiO2 1차원 광자결정은 충진률=0.5185, 주기=410 nm와 같은 구조 파라미터를 갖도록 제작되었다. 결함모드 유무에 따른 1차원 광자결정 특성은 UV-VIS-NIR에 의해 평가되었다. 정상모드는 근적외선 영역(1,203∽1,304 nm)에서 광자밴드갭을 보였고, 결함층을 포함하는 1차원 광자결정에서는 결함준위가 1,291 nm에서 나타났다. 측정된 투과도는 계산된 결과값과 거의 일치하였다. 광조사 후의 결함준위는 1,291 nm에서 1,304 nm로 변화하였다.