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2019
열처리 온도에 따른 SnO2/Cu(Ni)/SnO2 다층구조 투명전극의 전기?광학적 특성
A Study on the Electrical and Optical Properties of SnO2/Cu(Ni)/SnO2 Multi-Layer Structures Transparent Electrode According to Annealing Temperature
한국전기전자재료학회
이현용 외 2명
논문정보
- Publisher
- 전기전자재료학회논문지
- Issue Date
- 2019-03-01
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 32
- Number
- 2
- Start Page
- 134
- End Page
- 140
- DOI
- ISSN
- 12267945
Abstract
마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 Oxide(SnO2)/metal alloy(Cu(Ni))/oxide(SnO2) 다층박막을 제작하였다. Oxide 층과 Metal 합금 층은 각각 SnO2, Ni이 도핑된 Cu가 해당된다. X-ray diffraction (XRD), ultraviolet visible (UV-vis) spectrophotometer and 4-point probe를 사용하여 다층박막의 구조적, 광학적, 전기적 성질을 조사한다. SnO2/Cu(Ni)/SnO2 다층박막의 성질은 필름 중간층의 두께와 Ni 도핑에 의존한다. Ni원자가 Cu 원자의 확산과 응집을 억제하기 때문에 Ni을 추가함으로서 Cu의 Grain growth를 지연시킬 수 있다. 250℃에서 SnO2(30nm)/Cu(Ni)(8nm)/SnO2(30nm) 다층 박막의 Haccke’s figure merit (FOM)는 0.17×10-3 Ω-1로 평가된다.
- 전남대학교
- KCI
- 전기전자재료학회논문지
저자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 이현용 | 화학공학부 |