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2012
열처리로 제조된 In2Se3 박막의 구조 및 광학적 특성 연구
Investigation of Structural and Optical Characteristics of In2Se3 Thin Films Fabricated by Thermal Annealing
한국진공학회
하준석
논문정보
- Publisher
- 한국진공학회지
- Issue Date
- 2012-05-15
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 21
- Number
- 3
- Start Page
- 136
- End Page
- 141
- DOI
- ISSN
- 12258822
Abstract
열처리 공정으로 제조한 In2Se3 박막의 구조 및 광학적 물성을 조사하여 보고한다. 기판위에 스퍼터링 방법으로 인듐(In:
indium)을 증착하고 셀레늄 분위기에서 열처리 온도를 변화시키며 In-Se 박막을 제조하였다. 열처리 온도가 증가함에 따라
In2Se3 박막의 형성과 상의 변화를 관찰 할 수 있었다. 낮은 열처리 온도(≤150oC)에서는 In의 뭉침 현상을 관찰할 수 있었고
열처리 온도가 250oC 부터 In2Se3 박막이 형성되며 350oC 에서 γ-In2Se3 상이 형성됨을 알 수 있었다. 열처리 온도가 400oC
로 증가면 wurtzite 구조의 고품질 γ-In2Se3 박막을 얻을 수 있었다. 열처리 온도가 증가함에 따라 In2Se3 박막의 밴드갭이
증가함을 알 수 있었고, 열처리 온도 400oC에서 제조된 γ-In2Se3 결정질 박막의 밴드갭이 1.796eV임을 알았다.
- 전남대학교
- KCI
- 한국진공학회지
저자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 하준석 | 화학공학부 |