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2017
전착법을 이용한 Cu2O 박막 형성 및 공정 조건에 따른 특성 변화 .
한국마이크로전자및패키징학회
허재영, 류상완, 하준석
논문정보
Publisher
마이크로전자 및 패키징학회지
Issue Date
2017-06-01
Keywords
-
Citation
-
Source
-
Journal Title
-
Volume
24
Number
2
Start Page
37
End Page
41
DOI
ISSN
12269360
Abstract
Cu2O는 초저가 태양전지의 흡수층으로 적용될 수 있는 물질 중 하나로 direct band gap(Eg= ~2.1 eV)을 갖고있으며 최대 650 nm 파장의 빛을 흡수 할 수 있는 높은 흡수율을 가지고 있다. 또한 무독성, 풍부한 매장량으로 낮은 비용 등의 여러 장점을 가지며 간단하고 저렴한 방법으로 대량으로 제작이 가능하다. 본 연구에서 Au가 증착된 SiO2/Si 기판 위에 전착법을 통해 Cu2O 박막을 제작하였다. 우리는 용액의 pH와 작업전극에 인가되는 전위, 용액의 온도와 같은 공정조건을 바꾸어주었고 최종적으로 XRD와 SEM 사진 분석을 통해 박막의 특성을 확인하였다.

저자 정보

이름 소속
허재영 신소재공학부
류상완 물리학과
하준석 화학공학부