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2012
플립칩 공정시 반응생성물이 계면반응 및 접합특성에 미치는 영향
Effects of Intermetallic Compounds Formed during Flip Chip Process on the Interfacial Reactions and Bonding Characteristics
한국마이크로전자및패키징학회
하준석
논문정보
- Publisher
- 마이크전자 및 패키징학회지
- Issue Date
- 2012-06-11
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 19
- Number
- 2
- Start Page
- 35
- End Page
- 39
- DOI
- ISSN
- 12269360
Abstract
플립칩 접합시 발생하는 계면반응 거동과 접합특성을 계면에 생성되는 금속간화합물의 관점에서 접근하였다.
이를 위하여 Al/Cu와 Al/Ni의 under bump metallization(UBM) 층과 Sn-Cu계 솔더(Sn-3Cu, Sn-0.7Cu)와의 반응에 의한 금
속간화합물의 형성거동 및 계면접합성을 분석하였다. Al/Cu UBM 상에서 Sn-0.7Cu 솔더를 리플로우한 경우에는 솔더/
UBM 계면에서 금속간화합물이 형성되지 않았으며, Sn-3Cu를 리플로우한 경우에는 계면에서 생성된 Cu6Sn5 금속간화합물
이 spalling 되어 접합면이 분리되었다. 반면에 Al/Ni UBM 상에서 Sn-Cu계 솔더를 리플로우한 경우에는 0.7 wt% 및 3 wt%
의 Cu 함량에 관계없이 (Cu,Ni)6Sn5 금속간화합물이 계면에 형성되어 있었으며, 계면접합이 안정적으로 유지되었다.
- 전남대학교
- KCI
- 마이크전자 및 패키징학회지
저자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 하준석 | 화학공학부 |