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2017
구리박막 시험편의 인장시험
Tension Tests of Copper Thin Films
대한기계학회
박경조, 김정엽
논문정보
- Publisher
- 대한기계학회논문집 A
- Issue Date
- 2017-08-01
- Keywords
- -
- Citation
- -
- Source
- -
- Journal Title
- -
- Volume
- 41
- Number
- 8
- Start Page
- 745
- End Page
- 750
- DOI
- ISSN
- 12264873
Abstract
본 연구에서는 두께 12μm의 구리박막에 대한 인장시험을 수행하였으며, 변위 측정은 디지털이미지를 기반으로 한 디지털이미지상관법을 이용하였다. 일반적인 디지털이미지상관법에서 시험편 표면의 큰변형으로 인해 변형률계산에 큰 오차가 발생하는 문제점을 개선하여, 시험편 전영역에 걸쳐 정밀하게 변형률을 계산할 수 있었으며 직접 시험편의 표면에서 변형률을 정확하게 측정할 수 있었다. 계산된 시험편 표면의 변형률 분포는 일반적인 벌크소재의 시험편에서와는 달리 전체적으로 균일하지가 않고 그 변화폭이 매우 크며, 항복응력이하의 탄성범위에 있는 경우에도 변형률분포는 균일하지 않다. 이것은 구리박막의 전해증착 제조공정에서 발생한 시험편의 거칠기가 비교적 큰 영향을 준 것으로 판단된다.
- 전남대학교
- KCI
- 대한기계학회논문집 A
저자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 박경조 | 기계시스템공학과 |
| 김정엽 | 기계시스템공학과 |