본 연구에서는 DC 마그네트론 스퍼터링 법으로 ITO 박막을 Nb2O5 (8 nm)/SiO2(45 nm) 버퍼층위에 증착하여, DC 파워(100∼400 W) 변화에 따른 박막의 전기적 및 광학적 특성을 조사하였다. ITO 박막의 표면을 AFM으로 관찰한 결과, 모든 박막이 핀홀이나 크랙 같은 결함이 없는 표면을 가지며, DC 파워 200 W에서 증착한 박막이 1.431 nm의 가장 작은 표면 거칠기를 나타내었다. 전기적 및 광학적 특성 측정 결과, DC 파워 200 W에서 증착한 ITO 박막이 3.03 × 10-4 Ω-cm의 가장 낮은 비저항 값을 보였고 가시광 영역(400∼800 nm) 에서의 평균 투과도와 파장 550 nm에서의 투과도는 각각 85.8% 와 87.1%로 조사되었고 색도(b*) 값도 2.13 으로 비교적 우수한 값을 나타내었다. ITO 박막의 면저항과 가시광 영역에서의 평균 투과도 및 파장 550 nm 에서의 투과도를 이용하여 구한 재료평가지수는 DC 파워 200 W일 때 각각 2.50 × 10-3 Ω-1과 2.90× 10-3 Ω-1의 가장 우수한 값을 나타내었다.