본 연구에서는 고주파 마그네트론 스퍼터링 법으로 유리기판위에 GTZO박막을 제작하여, 두께에 따른 구조적 특성과 전기적 및 광학적 특성을 조사하였다. XRD측정을 통해, GTZO박막의 두께가 증가함에 따라 박막의 결정성이 향상되고 결정립 크기가 커짐을 알 수 있었다. GTZO박막의 두께가 증가함에 따라 투과도 곡선이 장파장 쪽으로 이동하는 현상이 관찰되었고, 가시광 영역에서의 평균 투과도는 85.25에서 77.21%로 감소하는 경향을 나타내었다. Hall 측정 결과, 비저항은 GTZO박막의 두께가 증가함에 따라 9.41×10-3에서 5.12×10-4Ω·cm로 감소한 반면 이동도와 캐리어 농도는 각각 3.69에서 7.85cm2/V·s로, 1.80×1020에서 1.55×1021cm-3으로 증가하였다. 재료평가지수는 박막의 두께가 증가할수록 커지는 경향을 나타내었으며, 600nm두께의 GTZO박막에서 8.83×10-3 Ω-1으로 가장 큰 값을 나타내었다.