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2007
누설전류를 고려한 Quasi-MFISFET 소자의 특성 Characteristics of Quasi-MFISFET Device Considering Leakage Current
한국해양정보통신학회
정윤근, 강성준, 정양희
논문정보
Publisher
한국해양정보통신학회논문지
Issue Date
2007-09-28
Keywords
-
Citation
-
Source
-
Journal Title
-
Volume
11
Number
9
Start Page
1717
End Page
1723
DOI
ISSN
12266981
Abstract
본 연구에서는 PLZT(10/30/70), PLT(10), PZT(30/70) 강유전체박막을 이용한 quasi-MFISFET (Metal-Ferroelectric- Insulator-Semiconductor FET) 소자를 제작하여 드레인 전류 특성을 조사하였다. 이로부터, quasi-MFISFET 소자의 드레인 전류 크기가 강유전체 박막의 분극 크기에 따라 직접적인 영향을 받으며 결정된다는 사실을 알 수 있었다. 또, ±5V 와 ±10V 의 게이트 전압변화를 주었을 때 메모리 윈도우는 각각 0.5V 와 1.3V 이었고, 강유전체 박막에 인가되는 전압에 의해 만들어지는 항전압의 변동에 따라 메모리 윈도우가 변화된다는 사실을 확인할 수 있었다. MFISFET 소자의 retention 특성을 알아보기 위해 PLZT(10/30/70) 박막의 전기장과 시간지연에 따른 누설전류 특성을 측정하여 전류밀도 상수 JETO, 전기장 의존 요소 K, 시간 의존 요소 m 을 구하고, 이들 파라미터를 이용하여 시간에 따른 전하밀도의 변화를 정량적으로 분석하였다.

저자 정보

이름 소속
정윤근 기계설계공학과
강성준 전기컴퓨터공학부
정양희 전기컴퓨터공학부